概(gai)述

電(dian)(dian)阻率(lv)(lv)是決定半導體材(cai)料(liao)電(dian)(dian)學特(te)性(xing)的(de)重要參數，為了表(biao)征工藝質量以及(ji)材(cai)料(liao)的(de)摻雜情況，需要測(ce)試材(cai)料(liao)的(de)電(dian)(dian)阻率(lv)(lv)。半導體材(cai)料(liao)電(dian)(dian)阻率(lv)(lv)測(ce)試方(fang)(fang)法有(you)很多種，其中四探針法具(ju)有(you)設備簡單、操作方(fang)(fang)便、測(ce)量精度高以及(ji)對(dui)樣(yang)品形狀(zhuang)無(wu)嚴格要求的(de)特(te)點。因(yin)此，目前檢測(ce)半導體材(cai)料(liao)電(dian)(dian)阻率(lv)(lv)，尤其對(dui)于薄膜樣(yang)品來說，四探針是很常用的(de)方(fang)(fang)法。

英鉑科學儀器(qi)的(de)四(si)探針法測量半導體電阻率(lv)(lv)的(de)測試(shi)方案，采用美國吉時(shi)利公司的(de)高(gao)精度(du)源表(SMU)，可(ke)以在(zai)輸(shu)出電流時(shi)測試(shi)電壓(ya)，也可(ke)以在(zai)輸(shu)出電壓(ya)時(shi)測試(shi)電流。輸(shu)出電流范圍從皮安級(ji)到安培(pei)級(ji)可(ke)控，測量電壓(ya)分(fen)辨(bian)率(lv)(lv)高(gao)達微(wei)伏(fu)級(ji)。支(zhi)持四(si)線(xian)開(kai)爾文模式，適用于四(si)探針測試(shi)，可(ke)以簡化測試(shi)連接(jie)，得到準確的(de)測試(shi)結果(guo)。

上(shang)位機軟件CycleStar指導(dao)電阻率測(ce)試(shi)(shi)步(bu)驟，測(ce)試(shi)(shi)方法清晰明(ming)確，即(ji)使不熟練的工(gong)程師也能迅速掌握測(ce)試(shi)(shi)方法。

內(nei)置(zhi)電阻率(lv)計算(suan)公式，測(ce)試結束后(hou)直接從電腦端讀取計算(suan)結果，方便靈活的做后(hou)續處(chu)理(li)分析(xi)系統主要由源測(ce)量(liang)單元、探針(zhen)臺(tai)和上(shang)位機軟(ruan)件組成。四探針(zhen)可以(yi)通過前面(mian)板香蕉頭或者后(hou)面(mian)板三同軸接口連(lian)接到源表上(shang)。