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Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀
產品概要:
KOSAKA ET200A是KOSAKA新(xin)推出(chu)的(de)經濟型臺式兩用機型:6寸臺階(jie)儀(支持升級到(dao)8寸載物臺)和(he)粗(cu)糙度(du)(du)輪廓儀。可根據用戶需(xu)求任意組合,是一款帶(dai)有專用控制(zhi)器的(de)高精度(du)(du)、高性能的(de)表面粗(cu)糙度(du)(du)測(ce)量儀器。
基本信息:
極佳重復性與線性度
采用直動式檢測(ce)方(fang)式,可避(bi)(bi)免圓弧補(bu)正誤(wu)差,可避(bi)(bi)免Bearing間(jian)隙誤(wu)差;臺(tai)階(jie)測(ce)定重復性(xing):1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm;Z方(fang)向線(xian)性(xing)度為±0.25% (樣品(pin)(pin)厚度> 2000A);5A (樣品(pin)(pin)厚度≤2000A)
直動式檢出器構造
直動式檢出器測量邊沿效應
重復測量數據 (10 times)
Taylor Hobson 標準樣
直動式檢出器測量邊沿效應
VLSI SHS-9400QC
VLSI SHS-440QC
實時監控測量位置
超高直線度國際認證數據
位移光柵尺與時間取樣
形狀及粗度解析
粗(cu)度(du)規(gui)范對應:可對應各種國際新舊標準規(gui)范,測(ce)量參數多達60種;可測(ce)量臺階及傾斜度(du)。
超大測定力范圍
測定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意設(she)定可測定軟質材(cai)料面,如:COLOR FILTER、SPACER、PI等。
觸針保護蓋板及方便更換
技術優勢:
1、設備主體花崗巖,低熱(re)膨脹,低重(zhong)心(xin),自隔震
2、獨特的直(zhi)動式傳感器設計
3、Z方向重復性(xing)1σ 0.2nm以(yi)內(nei),但(dan)實(shi)際可達0.1nm
4、Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)
5、樣品(pin)臺(tai)的垂直直線度保證:局部0.005um/5mm、全(quan)量(liang)程0.2um/100mm
6、高精度(du)的(de)X方(fang)向位移光柵(zha)尺控(kong)制,X方(fang)向測量長度(du)大(da)至100mm,Y方(fang)向可移動150mm
7、自帶三維測量功能
應用方向:
主(zhu)要用(yong)于平板(ban)顯示器(qi)、硅片、硬盤等的微細形狀臺(tai)階/粗度(du)測(ce)(ce)定,對多種零件(jian)表面的粗糙度(du),波(bo)紋度(du)以及原始輪廓進行多參數評定,另外也(ye)可利用(yong)微小測(ce)(ce)定力(li)來(lai)對應(ying)軟質樣品表面測(ce)(ce)定。
Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀
產品結構:
花崗巖低重心設計:
Kosaka 臺階儀/粗糙度輪廓儀
線性度:
Vertical linearity(垂直線性度(du)) : ±0.25% (樣(yang)品厚(hou)度(du)> 2000A);5A (樣(yang)品厚(hou)度(du)≤2000A)
線(xian)性度計算公(gong)式(shi): 誤(wu)差范(fan)圍 / Z方向(xiang)測(ce)量范(fan)圍
測量(liang)設備型號 : ET-150系列(lie)
測(ce)試(shi)樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認證的標(biao)準(zhun)樣品
Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um
VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm
高分辨率:
超高垂直直線度:
垂(chui)直(zhi)(zhi)直(zhi)(zhi)線(xian)度:任何直(zhi)(zhi)線(xian)垂(chui)直(zhi)(zhi)方向上(shang)的偏移量稱為垂(chui)直(zhi)(zhi)直(zhi)(zhi)線(xian)度
可追溯(su)性:通過(guo)ISO9000國際認證(zheng),可追溯(su)NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產品(pin)出(chu)廠(chang)皆有出(chu)廠(chang)測試認證(zheng)報告(gao)
超高垂直(zhi)直(zhi)線度(du)(du)精(jing)度(du)(du)保(bao)證: 局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm;可測定樣品的平面度(du)(du)、波紋度(du)(du)、翹曲度(du)(du)、內應(ying)力
測量效果:
設(she)備主體花崗巖,低(di)熱膨脹,低(di)重心(xin),自隔震;測(ce)(ce)量(liang)穩定(ding)性和(he)設(she)備穩定(ding)、耐用(yong)性較(jiao)好;直動式檢測(ce)(ce)器;測(ce)(ce)量(liang)重復性&線(xian)性度(du)較(jiao)好,確保(bao)各樣(yang)品(pin)臺(tai)階(jie)測(ce)(ce)量(liang)的精(jing)度(du)、準確度(du);樣(yang)品(pin)臺(tai)超(chao)高的垂直直線(xian)度(du)保(bao)證;進一步提高臺(tai)階(jie)測(ce)(ce)量(liang)精(jing)度(du),確保(bao)樣(yang)品(pin)形狀(zhuang)不(bu)變形;樣(yang)品(pin)臺(tai)X方向(xiang)光(guang)柵尺定(ding)位,最長測(ce)(ce)量(liang)距(ju)離100mm,測(ce)(ce)量(liang)速(su)度(du)可(ke)快至5μm/s;樣(yang)品(pin)周期性結構不(bu)失(shi)真,長距(ju)離有利于測(ce)(ce)定(ding)多種國際(ji)參數。