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Elite Etch Cu 化學開封機
產品概要:
RKD的(de)(de)Elite Etch Cu是一臺可為銅(tong)線(xian)開封(feng)(feng)的(de)(de)化學開封(feng)(feng)機(ji),通過集(ji)成了先進的(de)(de)特點來實現更(geng)高的(de)(de)產能(neng)。這臺開封(feng)(feng)機(ji)可以通過將(jiang)精密分配(pei)微等分的(de)(de)硝酸(suan)、硫酸(suan)或混(hun)酸(suan)到樣品器件(jian)上,可開封(feng)(feng)直徑為0.8mil銅(tong)線(xian)的(de)(de)塑封(feng)(feng)料(liao)。
基本信息:
每一次微(wei)等分的(de)(de)酸被(bei)輸(shu)送到刻蝕腔內(nei),由于泵產生的(de)(de)足夠大的(de)(de)壓力(li)將(jiang)會創造(zao)出非常大的(de)(de)湍流(liu),可(ke)以極大的(de)(de)提高(gao)(gao)封裝材料的(de)(de)去除(chu)效率。對酸溫度的(de)(de)精密控(kong)制(zhi)(zhi),并結合更高(gao)(gao)的(de)(de)分配效率使得對于銅(tong)線器件的(de)(de)開封不會產生引(yin)線或(huo)金屬化損(sun)傷。特殊設計(ji)的(de)(de)酸熱交換(huan)器能夠在高(gao)(gao)達8ml每分鐘的(de)(de)流(liu)量內(nei)精的(de)(de)確將(jiang)酸溫度控(kong)制(zhi)(zhi)在10℃到250℃范圍內(nei)。即使是在低(di)溫度時,高(gao)(gao)的(de)(de)酸脈沖率也能獲得合理的(de)(de)刻蝕時間。
技術優勢:
Elite Etch Cu配置了一個酸(suan)(suan)控制器刻(ke)(ke)蝕頭,它是由優質碳化硅(gui)材料制造的(de),具(ju)有(you)很強(qiang)的(de)耐(nai)酸(suan)(suan)性。刻(ke)(ke)蝕頭設計用于降低在開封工藝結束時殘留(liu)(liu)在刻(ke)(ke)蝕頭上殘留(liu)(liu)酸(suan)(suan)的(de)煙化現象,對于操(cao)作員更(geng)加(jia)安(an)全(quan)(quan),并且對酸(suan)(suan)的(de)清潔也更(geng)方(fang)便。器件壓(ya)(ya)制組件(壓(ya)(ya)桿芯頭)是氣動(dong)激(ji)活(huo)的(de)推桿,壓(ya)(ya)桿芯頭正常狀態時縮回,當安(an)全(quan)(quan)罩完(wan)全(quan)(quan)關閉時伸(shen)出,當刻(ke)(ke)蝕罩蓋(gai)下(xia)以后,壓(ya)(ya)頭自動(dong)從上到下(xia)直(zhi)線移(yi)動(dong),沿垂直(zhi)方(fang)向直(zhi)接將(jiang)固定(ding)樣品(pin)或治具(ju)安(an)全(quan)(quan)地固定(ding)刻(ke)(ke)蝕頭上,可以完(wan)全(quan)(quan)消(xiao)除被刻(ke)(ke)蝕器件和治具(ju)的(de)移(yi)動(dong)。
Elite Etch Cu 在瓶(ping)子(zi)容(rong)器(qi)和(he)開封(feng)器(qi)之(zhi)間的(de)所有流體(ti)接(jie)口都采用雙重(zhong)密封(feng)。瓶(ping)子(zi)容(rong)器(qi)組件和(he)刻蝕機內部都配置了流體(ti)傳感器(qi),如(ru)果出現(xian)任(ren)何酸(suan)瓶(ping)或內部裝置的(de)酸(suan)泄(xie)漏,都會立即(ji)向操作員發出漏酸(suan)警 報。瓶(ping)子(zi)容(rong)器(qi)采用了通用的(de)旋轉互聯,使(shi)得酸(suan)瓶(ping)更換(huan)非常簡單,盡(jin)量避(bi)免接(jie)觸殘酸(suan)。
Elite Etch Cu開封機采用自動高低壓氣體轉換系統和安全蓋內部安全氣壓補充,確保操作員安全,并且更加節省N2氣消耗。設備采用光 纖感應傳感器檢測開封時刻蝕罩蓋上后的密合度。廢(fei)(fei)酸(suan)收(shou)集(ji)采用(yong)了獨特的冷卻熱交換系(xi)統(tong),可將廢(fei)(fei)酸(suan)冷卻至90℃及(ji)以下,用(yong)于將廢(fei)(fei)酸(suan)收(shou)集(ji)在(zai)一(yi)個廢(fei)(fei)酸(suan)瓶內,而無需兩個廢(fei)(fei)酸(suan)瓶以及(ji)硝酸(suan)硫(liu)酸(suan)轉換閥。單獨的手(shou)持式鍵盤控制(zhi),可以在(zai)通風廚外面(mian) 進行控制(zhi)避免(mian)酸(suan)對控制(zhi)面(mian)板和電路的腐(fu)蝕(shi)。
應用方向:
這臺開(kai)封機可以(yi)通過將精密分(fen)配微等分(fen)的硝酸(suan)、硫酸(suan)或混酸(suan)到(dao)樣品器件上(shang),可開(kai)封直徑為0.8mil銅(tong)線的塑封料。