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本實用新型涉及電子元器件檢測技術領域,特別涉及一種全自動探針臺及其工作臺。背景技術:全自動探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集

全自動探針臺及其工作臺的制作方法

本實用新型涉及電子元器件檢測技術領域,特別涉及一種全自動探針臺及其工作臺。

背景技術:

全自動探針臺主要應用于半導(dao)體行業、光電(dian)行業、集成(cheng)電(dian)路以及電(dian)子元器件(jian)的(de)(de)質量測(ce)試。隨著科技的(de)(de)發展(zhan),電(dian)子元器件(jian)的(de)(de)體積越來越小,通常將多個電(dian)子元器件(jian)集成(cheng)于一片狀的(de)(de)底板上以形成(cheng)待測(ce)件(jian),方便后(hou)續(xu)進行檢測(ce)。

對待測(ce)(ce)(ce)件進(jin)(jin)行檢測(ce)(ce)(ce)之前,通常需要將待測(ce)(ce)(ce)件放置(zhi)于一(yi)工(gong)作(zuo)臺(tai)上(shang)(shang)(shang)(shang)。但(dan)是,在向工(gong)作(zuo)臺(tai)上(shang)(shang)(shang)(shang)放待測(ce)(ce)(ce)件的(de)過程(cheng)中(zhong),為了提升檢測(ce)(ce)(ce)效率(lv),通常采取(qu)機械手輸送待測(ce)(ce)(ce)件,通常工(gong)作(zuo)臺(tai)上(shang)(shang)(shang)(shang)用于承載(zai)待測(ce)(ce)(ce)件的(de)表(biao)面和(he)機械手上(shang)(shang)(shang)(shang)的(de)待測(ce)(ce)(ce)件之間(jian)預留有(you)一(yi)定(ding)的(de)高度差以(yi)確(que)保機械手能順(shun)利輸送待測(ce)(ce)(ce)件,在重力作(zuo)用下(xia)待測(ce)(ce)(ce)件直接掉落到工(gong)作(zuo)臺(tai)上(shang)(shang)(shang)(shang)可(ke)能會(hui)使待測(ce)(ce)(ce)件上(shang)(shang)(shang)(shang)的(de)電子元(yuan)器(qi)件被撞傷,故有(you)待改(gai)進(jin)(jin)。

技術實現要素:

本實用(yong)新型(xing)實施例的(de)目的(de)是(shi)提供(gong)一(yi)種全自動(dong)探針(zhen)臺及(ji)其工作(zuo)臺,解決了在重力作(zuo)用(yong)下待測(ce)件直接掉落到工作(zuo)臺上可能會(hui)使待測(ce)件上的(de)電子元器(qi)件被撞傷的(de)問(wen)題。

本(ben)實用新型第一(yi)方面提供一(yi)種全自動探針臺(tai)(tai)(tai)的(de)工作臺(tai)(tai)(tai),包括:臺(tai)(tai)(tai)座(zuo)(zuo);與所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)臺(tai)(tai)(tai)座(zuo)(zuo)豎向間隔布置的(de)、用于(yu)承(cheng)載(zai)待(dai)測(ce)(ce)件(jian)(jian)(jian)的(de)載(zai)片臺(tai)(tai)(tai);設置于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)臺(tai)(tai)(tai)座(zuo)(zuo)上(shang)的(de)驅動機(ji)(ji)構;以(yi)及,受所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)驅動機(ji)(ji)構驅使以(yi)部分伸出(chu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)載(zai)片臺(tai)(tai)(tai)用于(yu)承(cheng)接(jie)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)待(dai)測(ce)(ce)件(jian)(jian)(jian)的(de)、由若干(gan)頂針組成的(de)頂針組件(jian)(jian)(jian),所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)載(zai)片臺(tai)(tai)(tai)設有(you)供所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)頂針伸出(chu)的(de)穿孔,當承(cheng)接(jie)有(you)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)待(dai)測(ce)(ce)件(jian)(jian)(jian)的(de)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)頂針接(jie)觸所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)待(dai)測(ce)(ce)件(jian)(jian)(jian)的(de)一(yi)端收(shou)縮至所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)穿孔內時所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)待(dai)測(ce)(ce)件(jian)(jian)(jian)放置于(yu)所(suo)(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)載(zai)片臺(tai)(tai)(tai)上(shang)。

實現(xian)上(shang)(shang)述方(fang)案的(de)工作(zuo)臺,在(zai)將待(dai)測件(jian)放(fang)置于(yu)載片(pian)臺上(shang)(shang)的(de)過程(cheng)中,驅動機(ji)構先(xian)驅使部(bu)分頂(ding)針伸出(chu)穿孔以(yi)(yi)抵(di)接于(yu)待(dai)測件(jian)的(de)下方(fang),在(zai)頂(ding)針朝穿孔內(nei)收縮的(de)過程(cheng)中逐步將待(dai)測件(jian)引(yin)導(dao)至載片(pian)臺上(shang)(shang),繼而(er)待(dai)測件(jian)難(nan)以(yi)(yi)在(zai)重力作(zuo)用下直接掉落到載片(pian)臺上(shang)(shang),對待(dai)測件(jian)上(shang)(shang)的(de)電子元(yuan)器(qi)件(jian)具(ju)有較佳的(de)保護作(zuo)用。

結合第一(yi)方面,在第一(yi)方面的(de)(de)(de)(de)第一(yi)種(zhong)可(ke)能的(de)(de)(de)(de)實現方式中(zhong),所(suo)(suo)(suo)述(shu)驅(qu)動機構(gou)包括:固(gu)定裝配于(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)臺(tai)座上的(de)(de)(de)(de)氣缸(gang);供所(suo)(suo)(suo)述(shu)頂(ding)針固(gu)定安裝的(de)(de)(de)(de)安裝件(jian);以及,設(she)于(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)氣缸(gang)的(de)(de)(de)(de)伸縮桿和所(suo)(suo)(suo)述(shu)安裝件(jian)之間的(de)(de)(de)(de)、以使所(suo)(suo)(suo)述(shu)安裝件(jian)相對于(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)氣缸(gang)水平方向錯位布置的(de)(de)(de)(de)連接件(jian)。

實現上述方(fang)案的(de)工作(zuo)臺,氣(qi)缸(gang)的(de)伸縮桿動作(zuo)帶(dai)動連接(jie)件(jian)(jian)(jian)升降(jiang)(jiang),進而帶(dai)動安(an)(an)裝件(jian)(jian)(jian)升降(jiang)(jiang)以(yi)使頂針伸出(chu)及(ji)回縮與穿孔(kong),同時連接(jie)件(jian)(jian)(jian)使得安(an)(an)裝件(jian)(jian)(jian)相(xiang)對于氣(qi)缸(gang)水平方(fang)向錯位(wei)布置,從而在安(an)(an)裝件(jian)(jian)(jian)的(de)正下方(fang)留出(chu)了(le)更大的(de)空間以(yi)用(yong)于安(an)(an)裝其他零部件(jian)(jian)(jian),具有結構穩定及(ji)節省空間的(de)效果。

結合第(di)(di)一方面的(de)(de)第(di)(di)一種可(ke)能的(de)(de)實(shi)現方式,在第(di)(di)一方面的(de)(de)第(di)(di)二種可(ke)能的(de)(de)實(shi)現方式中,所(suo)述(shu)(shu)連接件包(bao)括:一端設置(zhi)于(yu)所(suo)述(shu)(shu)氣缸的(de)(de)伸(shen)縮(suo)桿(gan)上的(de)(de)、相對于(yu)所(suo)述(shu)(shu)臺座水平布置(zhi)的(de)(de)板(ban)件;以及(ji),設置(zhi)于(yu)所(suo)述(shu)(shu)安裝(zhuang)件和所(suo)述(shu)(shu)板(ban)件另一端之間的(de)(de)、相對于(yu)所(suo)述(shu)(shu)臺座豎(shu)向布置(zhi)的(de)(de)桿(gan)件。

實(shi)現上(shang)述方案的工作(zuo)臺,桿件和板件組合安(an)裝(zhuang),實(shi)現了氣(qi)缸的活塞桿和安(an)裝(zhuang)件之間的可靠、穩(wen)定(ding)連接。

結合第(di)(di)一方(fang)(fang)面的(de)第(di)(di)二種可(ke)能(neng)的(de)實(shi)現方(fang)(fang)式(shi),在第(di)(di)一方(fang)(fang)面的(de)第(di)(di)三種可(ke)能(neng)的(de)實(shi)現方(fang)(fang)式(shi)中,所述(shu)(shu)工作臺還包括(kuo):設于(yu)所述(shu)(shu)板(ban)件(jian)上(shang)的(de)、相對(dui)于(yu)所述(shu)(shu)臺座水平(ping)布置的(de)條形擋片,設于(yu)所述(shu)(shu)臺座上(shang)的(de)安裝架,以及,設于(yu)所述(shu)(shu)安裝架上(shang)的(de)、與所述(shu)(shu)條形擋片配合且豎(shu)向(xiang)間隔布置的(de)、當所述(shu)(shu)板(ban)件(jian)升降至極限位置時以向(xiang)一控制中心反饋信息(xi)的(de)第(di)(di)一傳(chuan)感器和第(di)(di)二傳(chuan)感器。

實現上(shang)(shang)述(shu)方案(an)的工(gong)作(zuo)臺(tai)(tai),在氣(qi)缸驅動(dong)頂(ding)(ding)針(zhen)升降的過程中(zhong),頂(ding)(ding)針(zhen)位(wei)于(yu)最高點(dian)(dian)時意(yi)味著頂(ding)(ding)針(zhen)已經(jing)(jing)接觸待(dai)測(ce)件(jian)(jian)(jian),頂(ding)(ding)針(zhen)位(wei)于(yu)最低點(dian)(dian)時意(yi)味著待(dai)測(ce)件(jian)(jian)(jian)已經(jing)(jing)放置(zhi)于(yu)載(zai)片臺(tai)(tai)上(shang)(shang),板(ban)件(jian)(jian)(jian)也會相應升降,當板(ban)件(jian)(jian)(jian)帶動(dong)條(tiao)形擋片升降至極限位(wei)置(zhi)時,第一傳(chuan)感(gan)器或第二(er)傳(chuan)感(gan)器向一控(kong)制(zhi)中(zhong)心(xin)反饋上(shang)(shang)述(shu)信息,進(jin)而有(you)利于(yu)控(kong)制(zhi)中(zhong)心(xin)控(kong)制(zhi)其他部件(jian)(jian)(jian)動(dong)作(zuo)以配合對待(dai)測(ce)件(jian)(jian)(jian)進(jin)行(xing)檢(jian)測(ce)。

結(jie)合第一方面,在第一方面的第四種可能(neng)的實現方式(shi)中,所(suo)述(shu)工作臺還包括:帶輪結(jie)構(gou)以及伺服(fu)電(dian)機,所(suo)述(shu)伺服(fu)電(dian)機設于(yu)所(suo)述(shu)臺座上且(qie)通過所(suo)述(shu)帶輪結(jie)構(gou)驅使所(suo)述(shu)載片臺沿豎向軸線方向自由旋轉。

實現(xian)上述(shu)方案(an)的工作臺,伺(si)服(fu)電機(ji)通(tong)過帶輪結構(gou)驅使載(zai)片臺沿(yan)豎(shu)向(xiang)軸線方向(xiang)自(zi)由旋轉,從而可以帶動(dong)載(zai)片臺上的待測件自(zi)由旋轉,方便對(dui)待測件進行(xing)檢測。

結(jie)合第一方(fang)面的第四(si)種可能(neng)的實現(xian)方(fang)式,在第一方(fang)面的第五(wu)種可能(neng)的實現(xian)方(fang)式中,所(suo)(suo)(suo)述(shu)工(gong)作臺還包括:設(she)于所(suo)(suo)(suo)述(shu)載(zai)片(pian)臺上(shang)的、相(xiang)對于所(suo)(suo)(suo)述(shu)載(zai)片(pian)臺豎(shu)向布置的弧形(xing)(xing)擋片(pian),以及(ji),設(she)于所(suo)(suo)(suo)述(shu)臺座上(shang)的、與(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)弧形(xing)(xing)擋片(pian)配合且豎(shu)向布置的、當所(suo)(suo)(suo)述(shu)載(zai)片(pian)臺旋轉(zhuan)至極限(xian)位(wei)置時以控(kong)制所(suo)(suo)(suo)述(shu)伺服電(dian)機關閉的第三傳感器。

實現上(shang)述方案的(de)工作臺(tai),在伺(si)服電機驅動載(zai)(zai)片臺(tai)旋(xuan)(xuan)(xuan)轉(zhuan)的(de)過程(cheng)中,載(zai)(zai)片臺(tai)旋(xuan)(xuan)(xuan)轉(zhuan)至極(ji)限(xian)位(wei)置時,弧(hu)形(xing)擋片剛(gang)好處(chu)于旋(xuan)(xuan)(xuan)進或者(zhe)旋(xuan)(xuan)(xuan)出第(di)(di)三(san)傳感器的(de)狀態(tai),從(cong)而第(di)(di)三(san)傳感器可以通過判斷其(qi)是(shi)否(fou)被(bei)(bei)弧(hu)形(xing)擋片隔擋來實現監測載(zai)(zai)片臺(tai)是(shi)否(fou)旋(xuan)(xuan)(xuan)至極(ji)限(xian)位(wei)置,有效防止載(zai)(zai)片臺(tai)旋(xuan)(xuan)(xuan)轉(zhuan)過度,有利于待測件(jian)被(bei)(bei)檢測。

結合(he)第(di)一方(fang)面(mian)(mian),在第(di)一方(fang)面(mian)(mian)的第(di)六種可能的實現方(fang)式中,所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)載片(pian)臺的用于(yu)承接所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)待測(ce)件的表(biao)(biao)面(mian)(mian)設(she)有(you)若干負(fu)壓孔(kong),所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)載片(pian)臺的內部設(she)有(you)若干與所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)負(fu)壓孔(kong)及一負(fu)壓系統連通的通道以當所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)負(fu)壓系統開啟(qi)時(shi)將(jiang)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)待測(ce)件吸附于(yu)所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)載片(pian)臺的所(suo)(suo)(suo)述(shu)(shu)(shu)表(biao)(biao)面(mian)(mian)上。

實現上述(shu)方(fang)案的工(gong)作臺,負壓系統開啟會通過通道及(ji)負壓孔(kong)實現將待(dai)測件(jian)吸附固定于(yu)載片臺上,進而待(dai)測件(jian)更加穩(wen)定,進一步有利(li)于(yu)待(dai)測件(jian)被檢(jian)測。

結合第(di)(di)一方(fang)(fang)面(mian)的(de)第(di)(di)一種(zhong)可(ke)能(neng)的(de)實現方(fang)(fang)式(shi),在第(di)(di)一方(fang)(fang)面(mian)的(de)第(di)(di)七種(zhong)可(ke)能(neng)的(de)實現方(fang)(fang)式(shi)中,所述載片(pian)臺(tai)呈圓柱(zhu)形狀(zhuang),所述頂針的(de)數量為三根(gen)且與所述載片(pian)臺(tai)同軸(zhou)線均勻布置。

實(shi)現(xian)上述(shu)方案(an)的(de)工作(zuo)臺,三根頂(ding)針對待測件(jian)具有良好的(de)承托作(zuo)用,進(jin)而待測件(jian)在(zai)下降過程中更加穩定(ding),同時三根均勻(yun)布置(zhi),有效(xiao)確(que)保(bao)重心不偏(pian)移,進(jin)一步確(que)保(bao)待測件(jian)的(de)穩定(ding)性。

結合第一方(fang)(fang)面的第七(qi)種(zhong)可能(neng)的實現方(fang)(fang)式,在第一方(fang)(fang)面的第八(ba)種(zhong)可能(neng)的實現方(fang)(fang)式中(zhong),所(suo)(suo)述(shu)頂針包括:與所(suo)(suo)述(shu)安(an)裝件固定裝配的安(an)裝部分(fen)(fen),以及,與所(suo)(suo)述(shu)安(an)裝部分(fen)(fen)可拆(chai)卸式裝配以接(jie)觸所(suo)(suo)述(shu)待測件的軟質橡膠部分(fen)(fen)。

實現上述方案的工作(zuo)臺,軟質(zhi)橡(xiang)膠部分具有質(zhi)軟的優(you)點,從而軟質(zhi)橡(xiang)膠部分接觸待(dai)測件時,難以破壞(huai)待(dai)測件上的電子元器件。

本實用新型第(di)(di)二(er)方面(mian)提供(gong)一(yi)種全自動(dong)(dong)探針臺(tai),包括(kuo):如上述(shu)(shu)(shu)的工作臺(tai),與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)工作臺(tai)的所(suo)述(shu)(shu)(shu)臺(tai)座(zuo)(zuo)(zuo)橫向(xiang)(xiang)滑動(dong)(dong)式裝配的第(di)(di)一(yi)底(di)座(zuo)(zuo)(zuo),驅使所(suo)述(shu)(shu)(shu)工作臺(tai)相(xiang)對(dui)于(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)底(di)座(zuo)(zuo)(zuo)橫向(xiang)(xiang)滑動(dong)(dong)的第(di)(di)一(yi)動(dong)(dong)力(li)件,與(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)底(di)座(zuo)(zuo)(zuo)縱向(xiang)(xiang)滑動(dong)(dong)式裝配的第(di)(di)二(er)底(di)座(zuo)(zuo)(zuo),以及,驅使所(suo)述(shu)(shu)(shu)工作臺(tai)、所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)動(dong)(dong)力(li)件及所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)一(yi)底(di)座(zuo)(zuo)(zuo)相(xiang)對(dui)于(yu)所(suo)述(shu)(shu)(shu)第(di)(di)二(er)底(di)座(zuo)(zuo)(zuo)縱向(xiang)(xiang)滑動(dong)(dong)的第(di)(di)二(er)動(dong)(dong)力(li)件。

實現上(shang)述(shu)方案的全(quan)自動(dong)(dong)探針臺,第(di)(di)一動(dong)(dong)力件(jian)(jian)動(dong)(dong)作以(yi)驅使工作臺相(xiang)對(dui)于第(di)(di)一底(di)座橫(heng)向(xiang)滑動(dong)(dong),第(di)(di)二動(dong)(dong)力件(jian)(jian)動(dong)(dong)作以(yi)驅使工作臺及第(di)(di)一底(di)座相(xiang)對(dui)于第(di)(di)二底(di)座橫(heng)向(xiang)滑動(dong)(dong),從而可以(yi)帶(dai)動(dong)(dong)載片臺上(shang)的待測件(jian)(jian)相(xiang)對(dui)于第(di)(di)二底(di)座橫(heng)向(xiang)和/或(huo)縱向(xiang)移(yi)動(dong)(dong),方便對(dui)待測件(jian)(jian)進行檢測。

綜上所述,本實用新型實施例具有以下有益效果:

其一,通過頂針的承托作用,待測件難以直接掉落至載片臺上,對待測件具有較佳的保護作用;

其二,結構緊湊、穩定,占用空間小,安裝、維護方便。

附圖說明

圖1是本實用新型(xing)實施例(li)一的結(jie)構示意圖;

圖2是本實用新型實施(shi)例一中(zhong)驅(qu)動(dong)機(ji)構、釘針、條形擋片、安裝架、第一傳感器(qi)及(ji)第二傳感器(qi)的結構示意圖;

圖(tu)3是本實用新型實施例(li)二的(de)結構(gou)示意圖(tu)。

附圖標記:1、第(di)一(yi)底座(zuo)(zuo);2、第(di)二(er)(er)底座(zuo)(zuo);3、第(di)一(yi)動(dong)力件;31、第(di)一(yi)絲(si)桿;32、第(di)一(yi)電機(ji)(ji);4、第(di)二(er)(er)動(dong)力件;41、第(di)二(er)(er)絲(si)桿;42、第(di)二(er)(er)滑(hua)套;5、工作臺(tai);51、臺(tai)座(zuo)(zuo);52、載片(pian)臺(tai);521、穿孔(kong);522、負壓孔(kong);53、驅動(dong)機(ji)(ji)構;531、氣缸;532、安(an)裝件;533、連接件;5331、板件;5332、桿件;54、頂針;541、安(an)裝部分;542、軟質橡(xiang)膠部分;55、條(tiao)形(xing)擋片(pian);56、安(an)裝架;57、第(di)一(yi)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器;58、第(di)二(er)(er)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器;59、帶輪結(jie)構;510、伺服電機(ji)(ji);511、弧形(xing)擋片(pian);512、第(di)三傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器;6、第(di)二(er)(er)導軌;7、第(di)二(er)(er)滑(hua)塊。

具體實施方式

下面將(jiang)結合本實(shi)用(yong)新(xin)(xin)型實(shi)施例(li)中(zhong)的附(fu)圖,對本實(shi)用(yong)新(xin)(xin)型實(shi)施例(li)中(zhong)的技術方案進行清楚、完整(zheng)地(di)描述,顯然,所描述的實(shi)施例(li)僅(jin)僅(jin)是(shi)本實(shi)用(yong)新(xin)(xin)型一(yi)部分(fen)實(shi)施例(li),而不(bu)是(shi)全部的實(shi)施例(li)。基于(yu)本實(shi)用(yong)新(xin)(xin)型中(zhong)的實(shi)施例(li),本領(ling)域普(pu)通技術人員在(zai)沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其(qi)他實(shi)施例(li),都(dou)屬于(yu)本實(shi)用(yong)新(xin)(xin)型保護的范圍。

實施例(li)一(yi):一(yi)種(zhong)全自動探針臺的(de)工作(zuo)臺,如(ru)圖1所示,包括:臺座51、載片臺52、帶輪結構59、伺服電機(ji)510、弧形擋片511及(ji)第三傳感器512。

載(zai)片(pian)臺(tai)(tai)52用于放置待測件(jian)且呈圓(yuan)柱形狀,伺服電(dian)機510固(gu)定安裝(zhuang)于臺(tai)(tai)座(zuo)51上,且通過帶輪(lun)結構(gou)59驅使載(zai)片(pian)臺(tai)(tai)52沿豎向軸線(xian)方向自由(you)旋轉,從而可以(yi)帶動(dong)(dong)載(zai)片(pian)臺(tai)(tai)52上的待測件(jian)自由(you)旋轉,方便對待測件(jian)進行檢(jian)測,在其他(ta)實(shi)施例中帶輪(lun)結構(gou)59還可以(yi)替換(huan)成齒輪(lun)傳動(dong)(dong)或者鏈(lian)輪(lun)傳動(dong)(dong)結構(gou)。

弧(hu)形(xing)擋(dang)片(pian)(pian)(pian)511固定裝(zhuang)配于載(zai)(zai)片(pian)(pian)(pian)臺52上且(qie)對于載(zai)(zai)片(pian)(pian)(pian)臺52豎向布置(zhi)(zhi)的,第(di)三(san)傳(chuan)感(gan)器512固定安裝(zhuang)于臺座51上且(qie)與弧(hu)形(xing)擋(dang)片(pian)(pian)(pian)511配合且(qie)豎向布置(zhi)(zhi),當載(zai)(zai)片(pian)(pian)(pian)臺52旋(xuan)轉至極(ji)限(xian)位置(zhi)(zhi)時(shi)以控制伺(si)服電機510關閉(bi)。在伺(si)服電機510驅(qu)動(dong)載(zai)(zai)片(pian)(pian)(pian)臺52旋(xuan)轉的過程中,載(zai)(zai)片(pian)(pian)(pian)臺52旋(xuan)轉至極(ji)限(xian)位置(zhi)(zhi)時(shi),弧(hu)形(xing)擋(dang)片(pian)(pian)(pian)511剛好處于旋(xuan)進或者(zhe)旋(xuan)出第(di)三(san)傳(chuan)感(gan)器512的狀態,從而(er)第(di)三(san)傳(chuan)感(gan)器512可以通(tong)過判斷其是(shi)(shi)否被弧(hu)形(xing)擋(dang)片(pian)(pian)(pian)511隔擋(dang)來實現監測(ce)載(zai)(zai)片(pian)(pian)(pian)臺52是(shi)(shi)否旋(xuan)至極(ji)限(xian)位置(zhi)(zhi),有(you)效防(fang)止載(zai)(zai)片(pian)(pian)(pian)臺52旋(xuan)轉過度,有(you)利于待(dai)測(ce)件被檢測(ce)。

載片(pian)臺52的(de)用于(yu)承(cheng)接待(dai)(dai)測(ce)件的(de)表面(mian)開(kai)有(you)多(duo)(duo)個負(fu)(fu)(fu)壓孔522,負(fu)(fu)(fu)壓孔522呈圓弧形狀,載片(pian)臺52的(de)內部開(kai)有(you)多(duo)(duo)個與負(fu)(fu)(fu)壓孔522及(ji)一負(fu)(fu)(fu)壓系(xi)統連通的(de)通道,以(yi)當負(fu)(fu)(fu)壓系(xi)統開(kai)啟時將(jiang)待(dai)(dai)測(ce)件吸附于(yu)載片(pian)臺52的(de)表面(mian)上,進而待(dai)(dai)測(ce)件更加穩定(ding),進一步有(you)利于(yu)待(dai)(dai)測(ce)件被檢測(ce)。

載片(pian)臺52上開有三個豎(shu)向布置(zhi)的(de)穿孔521,三個穿孔521位于一圓上且(qie)均(jun)勻布置(zhi),上述(shu)圓和載片(pian)臺52呈圓心布置(zhi)。

結(jie)合圖1和圖2所示,工作臺還包括:固定裝配于(yu)臺座51上的驅動機構53,以(yi)及,受驅動機構53驅使(shi)以(yi)部分伸出穿(chuan)孔521用于(yu)承接(jie)待(dai)測(ce)件(jian)(jian)的、由(you)三根頂(ding)針(zhen)54組(zu)成的頂(ding)針(zhen)組(zu)件(jian)(jian)當承接(jie)有待(dai)測(ce)件(jian)(jian)的頂(ding)針(zhen)54接(jie)觸待(dai)測(ce)件(jian)(jian)的一端收縮至穿(chuan)孔521內時待(dai)測(ce)件(jian)(jian)放(fang)置于(yu)載片臺52上。

驅(qu)動機構53包括:固(gu)(gu)定裝(zhuang)配于臺座51上的(de)(de)(de)(de)氣(qi)缸(gang)531;供頂針54固(gu)(gu)定安(an)(an)(an)裝(zhuang)的(de)(de)(de)(de)安(an)(an)(an)裝(zhuang)件(jian)(jian)532;以(yi)(yi)及,設(she)于氣(qi)缸(gang)531的(de)(de)(de)(de)伸縮桿和安(an)(an)(an)裝(zhuang)件(jian)(jian)532之間的(de)(de)(de)(de)、以(yi)(yi)使安(an)(an)(an)裝(zhuang)件(jian)(jian)532相對于氣(qi)缸(gang)531水平方(fang)向錯(cuo)位布置(zhi)的(de)(de)(de)(de)連(lian)接(jie)件(jian)(jian)533。在其(qi)他(ta)實施例(li)中(zhong)驅(qu)動機構53可以(yi)(yi)為直接(jie)布置(zhi)于載片臺52下方(fang)的(de)(de)(de)(de)氣(qi)缸(gang)531。氣(qi)缸(gang)531的(de)(de)(de)(de)伸縮桿動作(zuo)帶(dai)動連(lian)接(jie)件(jian)(jian)533升降,進而帶(dai)動安(an)(an)(an)裝(zhuang)件(jian)(jian)532升降以(yi)(yi)使頂針54伸出(chu)及回縮與穿孔521,同時連(lian)接(jie)件(jian)(jian)533使得安(an)(an)(an)裝(zhuang)件(jian)(jian)532相對于氣(qi)缸(gang)531水平方(fang)向錯(cuo)位布置(zhi),從而在安(an)(an)(an)裝(zhuang)件(jian)(jian)532的(de)(de)(de)(de)正(zheng)下方(fang)留出(chu)了更大的(de)(de)(de)(de)空(kong)(kong)間以(yi)(yi)用于安(an)(an)(an)裝(zhuang)其(qi)他(ta)零部件(jian)(jian),具有結構穩定及節省空(kong)(kong)間的(de)(de)(de)(de)效果。

連(lian)接件533包括:一端設置(zhi)于(yu)氣缸531的(de)伸縮桿上(shang)的(de)、相(xiang)對于(yu)臺座51水平(ping)布置(zhi)的(de)板(ban)件5331;以及,設置(zhi)于(yu)安裝(zhuang)件532和(he)板(ban)件5331另(ling)一端之(zhi)間(jian)的(de)、相(xiang)對于(yu)臺座51豎向(xiang)布置(zhi)的(de)桿件5332。桿件5332和(he)板(ban)件5331組合安裝(zhuang),實現了氣缸531的(de)活塞(sai)桿和(he)安裝(zhuang)件532之(zhi)間(jian)的(de)可靠、穩(wen)定連(lian)接。

工(gong)作臺(tai)還包(bao)括:設于(yu)板(ban)件(jian)5331上的(de)、相(xiang)(xiang)對于(yu)臺(tai)座51水(shui)平布置的(de)條(tiao)形擋(dang)片(pian)(pian)55,設于(yu)臺(tai)座51上的(de)安裝架56,以(yi)及,設于(yu)安裝架56上的(de)、與條(tiao)形擋(dang)片(pian)(pian)55配合且豎(shu)向(xiang)(xiang)間隔布置的(de)、當板(ban)件(jian)5331升(sheng)(sheng)降(jiang)至極(ji)限位(wei)置時(shi)以(yi)向(xiang)(xiang)一(yi)控(kong)制中心反饋(kui)信息的(de)第(di)(di)一(yi)傳(chuan)感(gan)器57和第(di)(di)二傳(chuan)感(gan)器58。在(zai)氣缸531驅動(dong)(dong)(dong)頂(ding)(ding)針54升(sheng)(sheng)降(jiang)的(de)過程中,頂(ding)(ding)針54位(wei)于(yu)最高(gao)點時(shi)意(yi)味著頂(ding)(ding)針54已(yi)經接觸待(dai)測件(jian),頂(ding)(ding)針54位(wei)于(yu)最低點時(shi)意(yi)味著待(dai)測件(jian)已(yi)經放置于(yu)載片(pian)(pian)臺(tai)52上,板(ban)件(jian)5331也會相(xiang)(xiang)應(ying)升(sheng)(sheng)降(jiang),當板(ban)件(jian)5331帶動(dong)(dong)(dong)條(tiao)形擋(dang)片(pian)(pian)55升(sheng)(sheng)降(jiang)至極(ji)限位(wei)置時(shi),第(di)(di)一(yi)傳(chuan)感(gan)器57或第(di)(di)二傳(chuan)感(gan)器58向(xiang)(xiang)一(yi)控(kong)制中心反饋(kui)上述信息,進(jin)而有利于(yu)控(kong)制中心控(kong)制其他部件(jian)動(dong)(dong)(dong)作以(yi)配合對待(dai)測件(jian)進(jin)行(xing)檢測。

頂針(zhen)54的數量為三根且與載片(pian)臺52同軸(zhou)線(xian)均勻布置,三根頂針(zhen)54對待測(ce)件具有(you)良好的承托作用,進(jin)而(er)待測(ce)件在下降過程(cheng)中更加穩(wen)(wen)定,同時三根均勻布置,有(you)效確(que)保重心不偏移,進(jin)一(yi)步確(que)保待測(ce)件的穩(wen)(wen)定性。

頂針(zhen)54包(bao)括:與安(an)裝件532固定裝配的(de)(de)安(an)裝部分(fen)541,以及,與安(an)裝部分(fen)541可拆(chai)卸式裝配以接觸(chu)(chu)待(dai)測件的(de)(de)軟質橡(xiang)膠(jiao)部分(fen)542,軟質橡(xiang)膠(jiao)部分(fen)542具(ju)有質軟的(de)(de)優(you)點(dian),從而軟質橡(xiang)膠(jiao)部分(fen)542接觸(chu)(chu)待(dai)測件時(shi),難以破壞(huai)待(dai)測件上的(de)(de)電(dian)子元器件。

工作過程及原理:在(zai)將待測(ce)(ce)(ce)件放置于載片(pian)臺(tai)52上(shang)(shang)的(de)(de)(de)過程中,驅動機(ji)構53先驅使部(bu)分頂針54伸(shen)出穿孔(kong)521以抵接(jie)于待測(ce)(ce)(ce)件的(de)(de)(de)下(xia)方,在(zai)頂針54朝穿孔(kong)521內收縮的(de)(de)(de)過程中逐步將待測(ce)(ce)(ce)件引(yin)導至載片(pian)臺(tai)52上(shang)(shang),繼而待測(ce)(ce)(ce)件難以在(zai)重力作用下(xia)直接(jie)掉落到載片(pian)臺(tai)52上(shang)(shang),對待測(ce)(ce)(ce)件上(shang)(shang)的(de)(de)(de)電(dian)子元器(qi)件具有(you)較佳的(de)(de)(de)保護作用。

實(shi)施例(li)二:一(yi)(yi)(yi)種全自動(dong)(dong)(dong)探(tan)針臺(tai)(tai),結合圖1和(he)圖3所示(shi),包括(kuo):如實(shi)施例(li)一(yi)(yi)(yi)中描(miao)述的(de)工(gong)作(zuo)臺(tai)(tai)5,與工(gong)作(zuo)臺(tai)(tai)5的(de)臺(tai)(tai)座(zuo)51橫向(xiang)滑(hua)動(dong)(dong)(dong)式(shi)裝(zhuang)配的(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)底座(zuo)1,驅使工(gong)作(zuo)臺(tai)(tai)5相(xiang)對于(yu)第(di)一(yi)(yi)(yi)底座(zuo)1橫向(xiang)滑(hua)動(dong)(dong)(dong)的(de)第(di)一(yi)(yi)(yi)動(dong)(dong)(dong)力件3,與第(di)一(yi)(yi)(yi)底座(zuo)1縱(zong)(zong)向(xiang)滑(hua)動(dong)(dong)(dong)式(shi)裝(zhuang)配的(de)第(di)二底座(zuo)2,以及(ji),驅使工(gong)作(zuo)臺(tai)(tai)5、第(di)一(yi)(yi)(yi)動(dong)(dong)(dong)力件3及(ji)第(di)一(yi)(yi)(yi)底座(zuo)1相(xiang)對于(yu)第(di)二底座(zuo)2縱(zong)(zong)向(xiang)滑(hua)動(dong)(dong)(dong)的(de)第(di)二動(dong)(dong)(dong)力件4。

第(di)(di)一(yi)底(di)座1上安裝有(you)兩條(tiao)橫向(xiang)平行布置的第(di)(di)一(yi)導(dao)軌,臺座51的底(di)部固定(ding)安裝有(you)與第(di)(di)一(yi)導(dao)軌滑(hua)(hua)動式裝配(pei)的第(di)(di)一(yi)滑(hua)(hua)塊,第(di)(di)一(yi)動力(li)件3包(bao)括(kuo):設于第(di)(di)一(yi)底(di)座1上且位于兩第(di)(di)一(yi)導(dao)軌之(zhi)間的、沿(yan)橫向(xiang)軸線自由旋(xuan)轉(zhuan)的第(di)(di)一(yi)絲(si)(si)桿(gan)(gan)31,與第(di)(di)一(yi)絲(si)(si)桿(gan)(gan)31螺紋式裝配(pei)的、與臺座51固定(ding)裝配(pei)的第(di)(di)一(yi)滑(hua)(hua)套,以及,驅動第(di)(di)一(yi)絲(si)(si)桿(gan)(gan)31轉(zhuan)動的第(di)(di)一(yi)電機32,圖(tu)3中第(di)(di)一(yi)導(dao)軌、第(di)(di)一(yi)滑(hua)(hua)塊及第(di)(di)一(yi)滑(hua)(hua)套均由于視角遮擋(dang)未具(ju)體示(shi)出。

第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)底座(zuo)(zuo)2上(shang)安裝(zhuang)有兩條縱向平行布置的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)導(dao)軌(gui)6,第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)底座(zuo)(zuo)1的(de)(de)底部固定安裝(zhuang)有與(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)導(dao)軌(gui)6滑動(dong)(dong)式(shi)裝(zhuang)配(pei)的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)滑塊7,第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)動(dong)(dong)力件4包括:設于(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)底座(zuo)(zuo)2上(shang)且位(wei)于(yu)兩第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)導(dao)軌(gui)6之間(jian)的(de)(de)、沿(yan)縱向軸線(xian)自由(you)旋(xuan)轉的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)絲桿41,與(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)絲桿41螺紋式(shi)裝(zhuang)配(pei)的(de)(de)、與(yu)(yu)第(di)(di)(di)(di)一(yi)(yi)底座(zuo)(zuo)1固定裝(zhuang)配(pei)的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)滑套(tao)42,以及,驅動(dong)(dong)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)絲桿41轉動(dong)(dong)的(de)(de)第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)電機,圖3中第(di)(di)(di)(di)二(er)(er)電機由(you)于(yu)視角遮(zhe)擋未具體示出(chu)。

第(di)(di)一(yi)動(dong)力(li)件(jian)3動(dong)作以驅使工作臺5相對于第(di)(di)一(yi)底(di)座(zuo)1橫向(xiang)滑動(dong),第(di)(di)二動(dong)力(li)件(jian)4動(dong)作以驅使工作臺5及(ji)第(di)(di)一(yi)底(di)座(zuo)1相對于第(di)(di)二底(di)座(zuo)2橫向(xiang)滑動(dong),從而可以帶動(dong)載片(pian)臺52上的待測(ce)件(jian)相對于第(di)(di)二底(di)座(zuo)2橫向(xiang)和/或縱向(xiang)移(yi)動(dong),方(fang)便(bian)對待測(ce)件(jian)進行檢測(ce)。

以上所述的實施方式,并不構成對該技術方案保護范圍的限定。任何在上述實施方式的精神和原則之內所作的修改、等同替換和改進等,均應包含在該技術方案的保護范圍之內。

 

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