讓ESD“玩家”驚呼的主機，你的心愿清單里有它嗎？返回列表

2023-10-10 英鉑科學儀器（上海）有限公司

2023年 ESD必備主機：ATS 8000A大家好，我是小鉑，本來寫這篇文章是想中規中矩的列舉各個參數，從數據功能的角度讓大家去了解本次的主角

2023年(nian) ESD必(bi)備主機：ATS 8000A

大家好，我是小鉑，本來寫這篇文章是想中規中矩的列舉各個參數，從數據功能的角度讓大家去了解本次的主角，來自HPPI旗(qi)下的全自動(dong)(VF)TLP/HBM/HMM/CC-TLP解決方案。

但是作為一個多年的工程師，尤其是應用工程師的角度來看，小編真的想換一種方式，從小編多年使用經驗上去訴說一下我的“愛恨情仇(chou)。”

說起這個(ge)，就不得不提(ti)起那(nei)些年我(wo)(wo)和我(wo)(wo)的(de)(de)客戶們的(de)(de)故事，還記得那(nei)是一個(ge)夜黑風高的(de)(de)晚上，小編一手持探針，一手調顯(xian)微鏡(jing)，雙目圓睜，盯著針尖(jian)與Pad的(de)(de)相(xiang)會，實驗室中顯(xian)示(shi)器熒屏上閃爍的(de)(de)燈光，繼(ji)電器規律(lv)的(de)(de)啪嗒聲，伴(ban)隨著曲線(xian)的(de)(de)起伏，一切定格的(de)(de)時候，我(wo)(wo)們知道，這世上又一顆器件失效了。

看著(zhu)身旁尚未測試的(de)(de)器件，此時腦海(hai)中(zhong)響起的(de)(de)不是(shi)勝利(li)的(de)(de)號角聲(sheng)，而是(shi)弱小(xiao)無(wu)助的(de)(de)小(xiao)編(bian)一(yi)遍又一(yi)遍的(de)(de)喊(han)著(zhu)「我醉欲眠卿(qing)且去(qu)」，奈(nai)何卻又被客戶的(de)(de)「一(yi)杯一(yi)杯復一(yi)杯」給(gei)蓋了去(qu)。

我們知道，大多(duo)數的(de)2 pin測(ce)試(shi)系統(tong)已經可以實現Wafer level的(de)全自(zi)動測(ce)試(shi)，但是(shi)對于Package level只(zhi)能(neng)手動一顆一顆測(ce)試(shi)，比如(ru)(VF)TLP，HBM，HMM，MM，或者這幾年(nian)流行起來的(de)Wafer級別的(de)CDM測(ce)試(shi)，即CC-TLP。

對于這類測試，有一個測試常識，想必大家都知道，即從測試(shi)結果(guo)的精確及穩定性(xing)上來(lai)說，Kelvin測試(shi)法要(yao)優于兩根探針測試(shi)的，說到這里就又不得不提起(qi)小編一個(ge)(ge)過(guo)去的(de)痛了，我們公司曾經為某FAB安(an)裝(zhuang)了一套TLP測(ce)試(shi)系統，因為該(gai)客戶測(ce)試(shi)量比(bi)較大(da)，也(ye)不測(ce)VF-TLP，因此就希望提高效率，所有測(ce)試(shi)用(yong)兩針(zhen)法(fa)來測(ce)，但是(shi)這就導致了一個(ge)(ge)問題，就是(shi)每次測(ce)試(shi)的(de)結果(guo)可能(neng)都(dou)會有差(cha)異(yi)，比(bi)如(ru)因為落針(zhen)的(de)力度(du)不同，角度(du)不同都(dou)可能(neng)引(yin)起(qi)Pad接觸(chu)點(dian)幾豪(hao)(hao)歐(ou)到幾十豪(hao)(hao)歐(ou)的(de)差(cha)距，雖然TLP系統可以比(bi)作是(shi)高壓大(da)電流源，接觸(chu)電阻帶(dai)來的(de)影響可能(neng)不會那么大(da)，但是(shi)對于客戶來講(jiang)，測(ce)試(shi)結果(guo)的(de)微小差(cha)異(yi)也(ye)會被放大(da)。

總結一下，通過以上我的經歷不難發現有兩個痛點：

1. Package level無(wu)法實(shi)現全自動測試(shi)

2. 兩探針測試的時(shi)候，測試結果會(hui)有差異

那么接下來就要介紹今天的主角了，ATS-8000A，以(yi)及它是怎樣解決以(yi)上(shang)兩個問題的。

1. ATS-8000A具備真空旋(xuan)轉Chuck，以及封裝(zhuang)模(mo)具，可(ke)(ke)以將多個任意封裝(zhuang)器件(jian)放置在模(mo)具中，利(li)用(yong)軟件(jian)圖形定義，結(jie)合硬件(jian)3軸自動化針座及旋(xuan)轉Chuck，即可(ke)(ke)實(shi)現Package器件(jian)的全自動測(ce)試。

說到這里有的同學可能會問，那我是否可以測試Die，答案當然是可以的！下面請看圖。

2. 針對兩針測試時的測試結果差異問題，根本在于落針力度及位置問題，那么ATS-8000A則是利用探針臂上的精密力傳感器，精度達milli-Newton，用此保證每次落針的力度一樣，既保證了兩針測(ce)試的(de)精度，又保證了探針的(de)壽命(ming)。

另外有(you)的(de)同(tong)學(xue)可(ke)能(neng)會問(wen)，是(shi)(shi)否(fou)可(ke)以(yi)(yi)使用(yong)(yong)雙(shuang)針(zhen)尖的(de)探針(zhen)，答案當然(ran)也(ye)是(shi)(shi)可(ke)以(yi)(yi)的(de)，其(qi)實使用(yong)(yong)過的(de)同(tong)學(xue)知道最好(hao)的(de)測(ce)試探針(zhen)是(shi)(shi)fixed picoprobe，這(zhe)類針(zhen)可(ke)根據pad間距進行(xing)定(ding)制，GND回路穩定(ding)且(qie)短，一般(ban)在(zai)測(ce)VF-TLP這(zhe)種(zhong)小(xiao)脈寬，更快的(de)上升沿時(shi)更具優(you)勢(shi)，不過針(zhen)尖間距比(bi)較(jiao)受限，加上在(zai)扎針(zhen)時(shi)相對(dui)較(jiao)難，且(qie)一般(ban)只有(you)大量測(ce)試同(tong)類產品時(shi)才用(yong)(yong)的(de)多(duo)，所(suo)以(yi)(yi)平(ping)時(shi)小(xiao)編接觸過的(de)這(zhe)類用(yong)(yong)戶(hu)其(qi)實也(ye)不算多(duo)，在(zai)我們的(de)ATS-8000A系統中(zhong)這(zhe)些問(wen)題(ti)相對(dui)可(ke)以(yi)(yi)優(you)化(hua)，比(bi)如(ru)只需要扎一次(ci)針(zhen)，后續就可(ke)以(yi)(yi)通過ATS-8000A系統自(zi)(zi)動扎針(zhen)，實現全自(zi)(zi)動化(hua)，相對(dui)的(de)就更好(hao)用(yong)(yong)，因此想用(yong)(yong)這(zhe)類探針(zhen)的(de)同(tong)學(xue)也(ye)不必擔(dan)心。