一.探針臺操作步驟：

1.將測(ce)試(shi)產品(pin)放入探針臺的臺盤上;

2. 打開顯微鏡光源燈(LED或光源機);

3.打開(kai)背(bei)光面板光源開(kai)關;

4.調整Z axis高度對焦，使能清楚(chu)看到樣品圖象為OK;

5.調整目鏡和Zoom倍(bei)率，使(shi)影像清晰;

二.點針操作步驟：

1. 通過(guo)移動(dong)鏡頭組(zu)部分找到Sample 要下(xia)針的地方;

2. 調整針座(zuo)位(wei)置(zhi)，將三軸(zhou)歸零;

3. 調整(zheng)針(zhen)座(zuo)仰角機構，使針(zhen)尖位于顯微鏡射(she)出光(guang)斑中央上方1-2mm處;

4. 利用低倍鏡頭找到針尖(jian),將針尖(jian)移至視野中(zhong)央(yang)位(wei)置并通過調整(zheng)焦(jiao)距使針尖(jian)達到*清(qing)晰;

6.切(qie)換(huan)至高倍鏡頭，找到針(zhen)尖;

7.利用針座(zuo)的X-Y-Z 軸微調下針;

8.量測(ce)完(wan)畢后，逆(ni)時針旋(xuan)轉針座(zuo)的仰角機構的旋(xuan)鈕快(kuai)速將針往上抬起，針尖即可移開Sample;移動針座(zuo)平臺或者顯微鏡相關移動機構時,請注意(yi)小心避(bi)免與鏡頭或被測(ce)品碰撞

9. 移開針(zhen)座，取(qu)出(chu)Sample.

10.關閉背光面板光源和光源燈等電(dian)源.

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