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TS2000 Probe Systems
產品概要:
MPI TS2000的專(zhuan)用設計(ji)可滿足高級(ji)半導體測試(shi)市場的需求。該(gai)系統與所(suo)有MPI系統附件(jian)完全兼容,主要設計(ji)用于解決故障分析,設計(ji)驗證,IC工(gong)程,晶圓(yuan)級(ji)可靠性以(yi)及(ji)對MEMS、高功(gong)率、RF和(he)mmW器件(jian)測試(shi)的特殊要求。
基本信息:
超大面積工作臺
TS2000系(xi)列提供(gong)了易于使(shi)用的大型探針(zhen)座放置臺面(mian),以(yi)適應多達12套直流或4套射頻(pin)的微定位器,集成了負載拉(la)力調(diao)諧器或更大面(mian)積的微定位器,使(shi)得TS2000系(xi)統成為射頻(pin)和毫米波(bo)測量(liang)的理想選擇。
快速的晶圓裝載
寬大(da)的前門通(tong)道(dao)可輕(qing)松裝(zhuang)載/卸載100、150、200mm的晶圓,及(ji)微小(xiao)器件的快速(su)更換,兩只陶瓷(ci)專(zhuan)用射頻校準AUX卡(ka)盤位于前面,可以很(hen)方(fang)便地進行裝(zhuang)卸。
集成硬件控制面板
智能硬件控(kong)制面板完全集(ji)成到(dao)探針(zhen)系統中,并基于(yu)數十年的經驗和客戶互動而設(she)計,隱(yin)藏式的鍵(jian)盤、鼠標增加整體美(mei)觀。
溫控系統
便(bian)捷式的(de)觸摸屏來(lai)操作熱(re)卡盤(pan)(從20°C或環境溫度到(dao)最高300°C),實(shi)時顯(xian)示卡盤(pan)溫度,該(gai)觸摸屏位(wei)于(yu)操作員前方(fang)的(de)便(bian)利(li)位(wei)置(zhi),以實(shi)現(xian)快速的(de)操作和即時的(de)反饋。
探針卡和微型定位器
多達12套DC或4套DC和4套射頻微型定(ding)位(wei)器,及4.5英(ying)寸(cun)的(de)標準(zhun)探針卡(ka)夾具(ju),使該系統成為設(she)計驗證和(或)故障分析(xi)工作的(de)理想(xiang)選擇。
整合式DarkBox
TS2000-D是(shi)集成了DarkBox的TS2000。該系統專為各種屏蔽光電磁等敏(min)感器件而(er)設計,嵌入式的互鎖(suo),LED照明和(he)標(biao)準化(hua)接口面板而(er)設計,是(shi)受光和(he)激(ji)光安全保(bao)護的測試環境(jing)的首選。
儀器集成
可選的儀器架可縮短電纜長度,并提高 RF和mmW 應用中(zhong)的測量動態(tai)性和方(fang)向性。
軟件套件SENTIO®
MPI自動工程探針系統由獨特且革命性的(de)多(duo)點觸摸操(cao)作(zuo)控制SENTIO®軟(ruan)件(jian)套(tao)件(jian),簡單直(zhi)觀的(de)操(cao)作(zuo)節省了(le)大量的(de)培(pei)訓(xun)時間。“滾動”,“縮放”,“移動”命令模仿了(le)現代智能移動設備(bei),使(shi)每個人都(dou)可以(yi)在(zai)短短幾分鐘(zhong)內成(cheng)為(wei)專家。集(ji)成(cheng)式的(de)RF應用(yong)系統,無需切換到(dao)另一個軟(ruan)件(jian)平臺——MPI RF校準軟(ruan)件(jian)程序QAlibria®與SENTIO®完(wan)全集(ji)成(cheng)在(zai)一起,遵循單一操(cao)作(zuo)概念方法,易于使(shi)用(yong)。
技術優勢:
1、模(mo)塊量測(ce) :DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
2、射頻量(liang)測 :至高(gao) 110 GHz
3、高功率量產測試 : 至高 10 kV / 600 A
4、開放式溫區:25°C至 300 °C
5、內置被動式防(fang)震系(xi)統
6、可乘載達(da) 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微(wei)定位器、或 4.5” 標準(zhun)探針卡(ka)夾具
應用方向:
適(shi)用于(yu)多種量產型晶(jing)圓量測應用。
TS2000 Probe Systems
隔振系統
TS2000結合了兩種類型的隔振解決方案,總占地面積較小,可以在不同的實驗室測試環境中更好地運行。