多(duo)功能(neng)數(shu)字式四(si)探針(zhen)測(ce)(ce)試(shi)儀是運(yun)用四(si)探針(zhen)測(ce)(ce)量原理(li)測(ce)(ce)試(shi)電(dian)阻(zu)(zu)率/方阻(zu)(zu)的多(duo)用途綜合(he)測(ce)(ce)量儀器(qi)(qi)。該儀器(qi)(qi)設計(ji)符合(he)GB/T1551-2009《硅(gui)單(dan)晶電(dian)阻(zu)(zu)率測(ce)(ce)定方法》、GB/T1551-1995《硅(gui)、鍺單(dan)晶電(dian)阻(zu)(zu)率測(ce)(ce)定直(zhi)流(liu)兩探針(zhen)法》、GB/T1552-1995《硅(gui)、鍺單(dan)晶電(dian)阻(zu)(zu)率測(ce)(ce)定直(zhi)流(liu)四(si)探針(zhen)法》并參(can)考美(mei)國A.S.T.M標準。

儀器成套組成：由主機、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成。

主機主要由(you)精(jing)密恒流(liu)源、高分(fen)辨率ADC、嵌入式單片機系統組成。儀(yi)器所有參數設定(ding)、功能(neng)(neng)轉換(huan)(huan)全部采用數字(zi)化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能(neng)(neng);電壓電流(liu)全自動轉換(huan)(huan)量程(cheng);測試結果(guo)由(you)數字(zi)表頭直接顯(xian)示。本測試儀(yi)特贈設測試結果(guo)分(fen)類功能(neng)(neng)，zui大分(fen)類10類。

探頭(tou)選(xuan)配(pei)：根據不同材料(liao)(liao)特性需(xu)要，探頭(tou)可(ke)(ke)(ke)有多款選(xuan)配(pei)。有高耐磨碳化(hua)鎢探針探頭(tou)，以(yi)測(ce)(ce)試硅類半(ban)(ban)導(dao)體(ti)、金(jin)屬、導(dao)電(dian)(dian)塑料(liao)(liao)類等硬質材料(liao)(liao)的電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)(lv)/方阻(zu)(zu)(zu);也有球形鍍金(jin)銅合金(jin)探針探頭(tou)，可(ke)(ke)(ke)測(ce)(ce)柔性材料(liao)(liao)導(dao)電(dian)(dian)薄(bo)膜(mo)、金(jin)屬涂(tu)層或(huo)薄(bo)膜(mo)、陶瓷或(huo)玻璃等基底上導(dao)電(dian)(dian)膜(mo)(ITO膜(mo))或(huo)納米涂(tu)層等半(ban)(ban)導(dao)體(ti)材料(liao)(liao)的電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)(lv)/方阻(zu)(zu)(zu)。換上四(si)端子(zi)測(ce)(ce)試夾具，還可(ke)(ke)(ke)對電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)器體(ti)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)、金(jin)屬導(dao)體(ti)的低、中值(zhi)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)以(yi)及開(kai)關類接觸電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)進行測(ce)(ce)量。配(pei)專(zhuan)用探頭(tou)，也可(ke)(ke)(ke)測(ce)(ce)試電(dian)(dian)池極片等箔(bo)上涂(tu)層電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)率(lv)(lv)方阻(zu)(zu)(zu)。

測(ce)試(shi)臺(tai)選配：一般四探(tan)針(zhen)法(fa)測(ce)試(shi)電阻(zu)率(lv)(lv)(lv)/方阻(zu)配SZT-A或(huo)SZT-B或(huo)SZT-C或(huo)SZT-F型(xing)測(ce)試(shi)臺(tai)。二探(tan)針(zhen)法(fa)測(ce)試(shi)電阻(zu)率(lv)(lv)(lv)測(ce)試(shi)選SZT-K型(xing)測(ce)試(shi)臺(tai)，也(ye)可選配SZT-D型(xing)測(ce)試(shi)臺(tai)以(yi)測(ce)試(shi)半導體(ti)粉末電阻(zu)率(lv)(lv)(lv)，選配SZT-G型(xing)測(ce)試(shi)臺(tai)測(ce)試(shi)橡塑材料電阻(zu)率(lv)(lv)(lv)。詳(xiang)見《四探(tan)針(zhen)儀(yi)器、探(tan)頭和測(ce)試(shi)臺(tai)的(de)特點與選型(xing)參(can)考(kao)》

儀器(qi)具有測(ce)量精度高(gao)、靈敏度高(gao)、穩定性好、智能化程度高(gao)、結構緊湊、使用簡便等特點。

儀(yi)器適用于半(ban)導(dao)體材(cai)料(liao)廠器件廠、科研單(dan)位(wei)、高(gao)等院校對導(dao)體、半(ban)導(dao)體、類半(ban)導(dao)體材(cai)料(liao)的導(dao)電性能的測試(shi)。

基本技術參數

1.測量范(fan)圍(wei)、分辨率(括號內(nei)為可向下拓展1個數(shu)量級)

電阻：10.0×10-6～200.0×103Ω,分辨率1.0×10-6～0.1×103Ω

(1.0×10-6～20.00×103Ω,分辨(bian)率0.1×10-6～0.01×103Ω)

電阻率(lv)：10.0×10-6～200.0×103Ω-cm分辨率(lv)1.0×10-6～0.1×103Ω-cm

(1.0×10-6～20.00×103Ω-cm分辨率0.1×10-6～0.01×103Ω-cm)

方塊電阻：50.0×10-6～1.0×106Ω/□分辨率(lv)5.0×10-6～0.5×103Ω/□

(5.0×10-6～100.0×103Ω/□分辨率(lv)0.5×10-6～0.1×103Ω/□)

2.材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決(jue)定)

直徑：SZT-A圓測試(shi)臺直接(jie)測試(shi)方(fang)式Φ15～130mm，手持方(fang)式不限

SZT-B/C/F方測(ce)試臺直接測(ce)試方式(shi)(shi)180mm×180mm，手(shou)持方式(shi)(shi)不限.

長(chang)(高)度(du)：測試(shi)臺直接測試(shi)方(fang)式H≤100mm,手持方(fang)式不(bu)限.

測量方(fang)位:軸(zhou)向、徑向均(jun)可

3.量程劃分及誤(wu)差等級

4.工作電源：220V±10%,f=50Hz±4%,PW≤5W

5.外形尺寸：245mm(長)×220mm(寬)×95mm(高)

凈重(zhong)：≤1.5～2.0kg

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