探針臺可以固定晶(jing)圓(yuan)或芯片(pian)(pian)，并精確(que)定位(wei)(wei)待(dai)(dai)測(ce)(ce)物(wu)。手動探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)的(de)使(shi)(shi)(shi)用(yong)者(zhe)將探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臂(bei)和探(tan)(tan)(tan)針(zhen)安(an)裝到(dao)(dao)操縱器中，并使(shi)(shi)(shi)用(yong)顯微(wei)鏡(jing)將探(tan)(tan)(tan)針(zhen)尖(jian)(jian)端放(fang)置(zhi)(zhi)(zhi)到(dao)(dao)待(dai)(dai)測(ce)(ce)物(wu)上的(de)正確(que)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)。一(yi)旦所有探(tan)(tan)(tan)針(zhen)尖(jian)(jian)端都被設置(zhi)(zhi)(zhi)在(zai)正確(que)的(de)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)，就可以對待(dai)(dai)測(ce)(ce)物(wu)進(jin)行測(ce)(ce)試。對于帶有多個(ge)(ge)芯片(pian)(pian)的(de)晶(jing)圓(yuan)，使(shi)(shi)(shi)用(yong)者(zhe)可以抬起壓(ya)(ya)盤(pan)，壓(ya)(ya)盤(pan)將探(tan)(tan)(tan)針(zhen)頭與(yu)芯片(pian)(pian)分開，然后(hou)將工(gong)作臺(tai)移(yi)到(dao)(dao)下(xia)(xia)一(yi)個(ge)(ge)芯片(pian)(pian)上，使(shi)(shi)(shi)用(yong)顯微(wei)鏡(jing)找到(dao)(dao)精確(que)的(de)位(wei)(wei)置(zhi)(zhi)(zhi)，壓(ya)(ya)板降低后(hou)下(xia)(xia)一(yi)個(ge)(ge)芯片(pian)(pian)可以進(jin)行測(ce)(ce)試。半(ban)自(zi)動和全自(zi)動探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)系(xi)統(tong)使(shi)(shi)(shi)用(yong)機械化(hua)工(gong)作臺(tai)和機器視(shi)覺來(lai)自(zi)動化(hua)這個(ge)(ge)移(yi)動過程，提高了(le)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)生產率。

探針臺的分類

探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。

手動探針臺系(xi)統顧名思義是手(shou)動控制的(de)，這意(yi)味著晶圓載物臺(tai)、顯微鏡以及定位器(qi)/操縱器(qi)都是由(you)使用者手(shou)動移動的(de)。因此一般(ban)是在(zai)沒(mei)有很(hen)多(duo)待測(ce)器(qi)件(jian)需(xu)要(yao)(yao)測(ce)量(liang)或數(shu)據需(xu)要(yao)(yao)收(shou)集的(de)情況下使用手(shou)動探針臺(tai)。該(gai)類探針臺(tai)的(de)優點之一是只需(xu)要(yao)(yao)很(hen)少的(de)培訓，易于配置環境和(he)轉換測(ce)試環境，并且不(bu)需(xu)要(yao)(yao)涉及額外培訓和(he)設置時間的(de)電(dian)子設備、PC或軟件(jian)。由(you)于其靈活和(he)可變(bian)性高的(de)特(te)點，非(fei)常適合研(yan)發(fa)人員使用。

全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓(yuan)材料處(chu)理(li)搬運單(dan)元(yuan)(MHU)和模(mo)式識別undefined(自動(dong)(dong)對準)。負(fu)責晶圓(yuan)的(de)輸(shu)送(song)與定位，使晶圓(yuan)上的(de)晶粒依次與探(tan)針(zhen)接觸并逐個測試。可以(yi)24小時連續工作，通常(chang)用于芯(xin)片(pian)量產或有一些(xie)特殊(shu)要(yao)求如處(chu)理(li)薄晶圓(yuan)、封裝基板(ban)等。全自動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)臺(tai)價格也(ye)是遠(yuan)比手動(dong)(dong)/半自動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)臺(tai)要(yao)昂貴。

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