產品介紹：

MPI的(de)TS2000-SE/8寸半自(zi)動探針臺是具有創新功能的(de)200mm自(zi)動化晶圓測試系統，其包含獨特(te)的(de)側面自(zi)動裝卸功能和超(chao)高屏蔽下的(de)超(chao)低噪(zao)聲環境。

產品概要：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一個高(gao)性(xing)能的微屏蔽暗箱，可為超低噪聲，低電容測(ce)量提(ti)供出(chu)色的EMI和不透光(guang)的屏蔽測(ce)試環境

2、自動化晶圓(yuan)裝載系統

該功(gong)能提(ti)供了非常方便的(de)晶圓裝(zhuang)載，并且(qie)易(yi)于(yu)針對(dui)自(zi)動程(cheng)序進行預對(dui)準，可支持100mm、150mm、200mm等(deng)不同尺寸的(de)晶圓，針對(dui)高低溫環境下可提(ti)高測試效(xiao)率

3、ERS獨特的 AC3冷卻技術

MPI旗下全系(xi)列探針臺系(xi)統(tong)均(jun)采用ERS的AC3冷卻技術(shu)和自我管理(li)系(xi)統(tong)，可(ke)使(shi)用回(hui)收(shou)的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment，可(ke)大幅減少(shao)30%至(zhi)50%的空氣消耗

4、側(ce)視影(ying)像系(xi)統(VCE)

借助MPI8寸探針(zhen)臺獨特的自(zi)動側視– VCE影像(xiang)系(xi)統(tong)可視化的觀察探針(zhen)針(zhen)尖與樣品之間的接觸(chu)，使用DC或RF等(deng)探針(zhen)卡非常(chang)安全(quan)

產品優勢：

1、模(mo)塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分(fen)析 - 探(tan)針卡(ka) / 節間探(tan)測

4、可(ke)靠性測(ce)試(shi) - 熱/ 冷 / 長(chang)時(shi)間測(ce)試(shi)

5、高(gao)功率測(ce)試 - 至(zhi)高(gao) 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境(jing)，專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精(jing)密量測環境(jing)

7、支持飛安級低漏(lou)電值量測

8、支持溫度(du)范圍 -60 °C 至 300 °C