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案例

英鉑科學助力三星半導體搭建6寸晶圓級電學測試系統返回列表

裝機產品:YB600-A

產品介紹:

YB600-A是150mm手(shou)動探(tan)針臺系統(tong),可以提供準確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量。

產品優勢:

1、單機多應用設計

•適用于多種(zhong)晶圓/集成電路(lu)/功率器件/光學材料量測應用,如(ru)射頻和 DC、IV/CV 測試(shi)晶圓級可靠性

2、具備工效學設計

•XY 軸(zhou)微調設計(ji)/Y 軸(zhou)快(kuai)速導入導出(chu)/載物臺(tai)設計(ji)

•堅(jian)固(gu)且(qie)可乘(cheng)載多(duo)達 10 支 DC 或(huo) 4 支 RF 微定位器的工作(zuo)臺

•兩(liang)段式(shi)工作臺(tai)快(kuai)升把手設(she)計(ji),接(jie)觸(contact) - 分離(loading),實現高可靠(kao)性、高效(xiao)率性

•具備英鉑科學儀器獨有專(zhuan)利技術的氣浮式(shi)移動樣品臺,搭配微調千分尺

3、彈(dan)性選配與升級性

•另有多種晶(jing)圓載物臺可做升級,亦有諸多配(pei)件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學顯微鏡、電磁(ci)屏(ping)蔽箱/防震系統可搭載,以完全支援您的應(ying)用需求

4、高壓人(ren)機安全防護設計

•Platen 底部(bu)特(te)征聚合物高(gao)壓防護設計

•Chuck 獨特安全隔離防護(hu)設計

•采用(yong)德國 PEEK 雙層(ceng)高(gao)壓防護環套設(she)計的針(zhen)桿(標準(zhun) SHV Coaxial 接口)通用(yong)

•keithley&keysight 高壓(ya)儀表(biao),紅外感測 interlock 安全互鎖機制

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