TS150

產品介紹：

TS150應用于(yu)測試半導體晶圓級、器(qi)件類電學特性(xing)，具(ju)備可以(yi)快速拖動樣(yang)品臺(tai)，更換(huan)樣(yang)品功能，并且有著獨特Platen平(ping)臺(tai)設(she)計，測試重復性(xing)提高95%。MPI 全(quan)系列探針臺(tai)具(ju)備模塊化(hua)設(she)計,可搭配不(bu)同(tong)變倍比顯(xian)微鏡，同(tong)時與德國ERS聯合開(kai)發設(she)計具(ju)有氣冷(leng)溫控技術的Thermal Chuck同(tong)步使(shi)用。

產品優勢：

1、氣浮式樣(yang)品移(yi)動系(xi)統

MPI獨特的氣墊(dian)載(zai)物臺設計(ji)，具有簡單的單手冰球(qiu)控制，為操作人(ren)員提供了很強的便利性(xing)，可(ke)實現快速XY導航和(he)快速晶圓裝(zhuang)載(zai)，同時又不影響精確(que)的定位功能。

2、高度調整比例

探針(zhen)臺工作臺面具(ju)有25毫(hao)米的精細高度調節，支持各種(zhong)應用，獨特的1mm精確(que)(que)刻度可(ke)準確(que)(que)指示當前位置。

3、多種卡盤選項

手動(dong)系統可提供(gong)多種(zhong)卡盤選項(xiang)，以滿足不同的預算和應用需求。 

4、多種光學系統(tong)選擇

提供多種(zhong)光學器件，可(ke)以在用(yong)于普通(tong)DC / CV應用(yong)的(de)立(li)體聲或用(yong)于射頻配置的(de)單管(guan)MPI SZ10或MZ12之間進(jin)行(xing)選擇(ze)。

5、屏蔽系統

暗箱為(wei)超(chao)低(di)噪聲直流測量提供(gong)EMI屏蔽和不透光的測試環境。

6、多種光(guang)學系統選擇(ze)

提供多種光(guang)學(xue)器件，可在普(pu)通DC / CV應用的(de)立體聲或(huo)射頻配(pei)置的(de)單管MPI SZ10或(huo)MZ12之間進行(xing)選擇(ze)。

產品應用：

適用于多種晶(jing)圓量測應用，如(ru)組件特性描述和建模，晶(jing)圓級可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成電路(lu)工(gong)程、微型(xing)機電系統(tong) (MEMS) 和高功(gong)率 (HP)。

TS200-SE

產品介紹：

MPI TS200-SE 8英(ying)寸探針臺(tai)可提供高級EMI / RFI /不透(tou)光屏蔽(bi)，超(chao)低(di)噪聲，低(di)泄漏測量功(gong)能。

1、適(shi)用(yong)于多種晶圓量測應用(yong)，如組(zu)件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽(bi)環境，專為(wei) EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽(bi)所(suo)設計的精密量測環境

3、支(zhi)援飛安(an)級(ji)低漏電量(liang)量(liang)測

4、溫度量測范圍(wei) -60 °C 至 300 °C

產品優勢：

1、ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性(xing)能的(de)屏蔽系統，可為超(chao)低(di)噪聲，低(di)電容測量提供出(chu)色的(de)EMI和不透光的(de)屏蔽測試環境。

2、ShielDCap™

MPI ShielDCap™便于(yu)屏(ping)(ping)蔽，易于(yu)多(duo)種搭配，在簡化日常操作(zuo)方面(mian)發揮了重要作(zuo)用；完整的(de)ShielDCap™可以很(hen)容易地用EMI屏(ping)(ping)蔽版本的(de)探針卡支架(jia)替(ti)換。

3、空氣軸承

MPI獨特的(de)氣墊載(zai)物臺設計，具(ju)(ju)有(you)簡單(dan)的(de)單(dan)手(shou)冰球控制，為(wei)快速(su)的(de)XY導航(hang)和晶(jing)圓裝載(zai)提供了操作的(de)便利性，同時又具(ju)(ju)有(you)額外精密的(de)25x25mm的(de)XY-Theta千分(fen)尺(chi)機芯(xin)，不(bu)影(ying)響精確定位(wei)能力。 

4、溫度控制集成

晶圓(yuan)裝載門可以(yi)在15°C以(yi)下的任何溫度下鎖(suo)定，此獨特功(gong)能使(shi)TS200-SE成(cheng)為市場(chang)上安全的手動探針臺，此外(wai)，溫控(kong)系統(tong)可以(yi)通過集成(cheng)式的觸摸屏來(lai)操作，該觸摸屏放置(zhi)在操作員面前的便利位置(zhi)，以(yi)實現(xian)快速的反饋。

5、ERS獨特的(de)AC3冷卻技術(shu)

MPI旗下探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術(shu)及(ji)其空氣管(guan)理(li)系統，可減少多達30%至50%的干燥空氣消耗。

6、多種光(guang)學(xue)系統選擇

MPI光學(xue)(xue)(xue)器件(jian)可(ke)以選擇單(dan)筒顯微鏡MPI SuperZoom™SZ10，高達12倍光學(xue)(xue)(xue)變焦(jiao)的(de)MegaZoom™MZ12或(huo)超過(guo)42毫米工作距離的(de)EeyZoom™EZ10 ——其具有人體(ti)工程學(xue)(xue)(xue)20倍目鏡的(de)10倍光學(xue)(xue)(xue)變焦(jiao)系統，90mm工作距離和低至(zhi)2um以下的(de)光學(xue)(xue)(xue)分(fen)辨率。

TS3000-SE

產品介紹：

TS3000-SE是TS3000探針臺系統的(de)升(sheng)級開發，該系統配備(bei)(bei)了(le)MPI ShielDEnvironment™，可(ke)實(shi)現(xian)超低噪聲(sheng)，滿(man)足設備(bei)(bei)的(de)需求表征，晶圓級可(ke)靠性以及RF和mmW等多種應用。

產品優勢：

1、適用于(yu)多(duo)種晶圓(yuan)量測應用，支持2"、4"、6"、8"、12"等晶圓(yuan)測試并(bing)兼容4×4mm碎片測試

2、模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

3、射(she)頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

4、可靠性測(ce)試 - 精確的(de)壓力測(ce)試

5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

6、專(zhuan)為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所(suo)設計的精密量境，以得到 1/f 超低(di)噪測(ce)試結(jie)果(guo)

7、支援 fA 級超低噪 IV 量測

8、可編程的顯微鏡滑臺(tai)實現自動(dong)化之簡(jian)便操(cao)作

9、具配置彈性的溫(wen)度可量測范圍(wei) -60 °C 至(zhi) 300 °C

產品應用：

適(shi)用于多種(zhong)晶(jing)圓量測應用。