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案例

英鉑科學助力上海禾賽科技搭建6寸晶圓級電學測試系統返回列表

裝機產品:YB600-A

產品介紹:

YB600-A是(shi)150mm手動探針臺系(xi)統,可以提供準確可靠的DC/CV, RF/高(gao)功率(10000V 30A)測量(liang)。

產品優勢:

1、單機多應用設計

•適(shi)用于(yu)多種(zhong)晶圓/集(ji)成電路/功率器件(jian)/光學材料量測應(ying)用,如射(she)頻(pin)和 DC、IV/CV 測試晶圓級可靠性

2、具備工效學設計

•XY 軸微調設計/Y 軸快速導入導出(chu)/載物(wu)臺(tai)設計

•堅(jian)固(gu)且可(ke)乘載多(duo)達(da) 10 支 DC 或 4 支 RF 微(wei)定位(wei)器的工作臺

•兩段式(shi)工作臺快(kuai)升把(ba)手設(she)計,接觸(contact) - 分(fen)離(loading),實現高可靠性(xing)(xing)、高效(xiao)率性(xing)(xing)

•具(ju)備英鉑(bo)科學儀器獨有專利技(ji)術的氣浮式移動樣品(pin)臺,搭配微調千(qian)分(fen)尺

3、彈性選(xuan)配與升級性

•另有多(duo)種(zhong)晶(jing)圓載物臺可做升級(ji),亦有諸多(duo)配件如(ru) DC/RF/mmW 微(wei)(wei)定(ding)位器(qi)、光(guang)學(xue)顯(xian)微(wei)(wei)鏡、電磁(ci)屏蔽箱/防(fang)震(zhen)系統(tong)可搭載,以完全支援您的(de)應用需(xu)求

4、高壓人機安全(quan)防護設計

•Platen 底(di)部特征聚合物高壓(ya)防護設計

•Chuck 獨(du)特(te)安全隔離防護設(she)計

•采用德國 PEEK 雙層高(gao)壓防(fang)護環套(tao)設(she)計的針桿(gan)(標(biao)準 SHV Coaxial 接口)通用

•keithley&keysight 高壓(ya)儀表,紅外感測 interlock 安全互鎖機制

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