英鉑科學攜MPI助中科大上海研究院搭建半自動高低溫系統返回列表
產品介紹:
MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有(you)創(chuang)新功能(neng)(neng)的200mm自動化晶圓測(ce)試(shi)系統,其(qi)包含獨特的側面自動裝卸功能(neng)(neng)和超高(gao)屏蔽下(xia)的超低(di)噪聲(sheng)環境(jing)。
特色功能(VCE):
MPI的(de)TS2000-SE/8寸半自動探(tan)針臺發布新(xin)功能,側面帶有VCE,可完美解放您的(de)雙手,實現(xian)精準定(ding)位,完成自動扎針,使測試(shi)過程(cheng)更(geng)加(jia)方便快捷。
產品概要:
1、ShielDEnvironment
MPI ShielDEnvironment是一(yi)個高性(xing)能的微屏蔽(bi)暗(an)箱,可(ke)為超低(di)噪聲(sheng),低(di)電容測量提供出色的EMI和不透光(guang)的屏蔽(bi)測試環(huan)境
2、自動化晶圓裝載系統
該(gai)功能提供了非常方便的(de)晶圓裝載,并且易(yi)于針對自動程序進行預對準(zhun),可(ke)支持100mm、150mm、200mm等不同(tong)尺寸(cun)的(de)晶圓,針對高低(di)溫環境下可(ke)提高測試效(xiao)率
3、ERS獨(du)特的 AC3冷(leng)卻技(ji)術(shu)
MPI旗下全系列探(tan)針(zhen)臺系統(tong)(tong)均(jun)采用(yong)ERS的AC3冷卻技術和自我(wo)管(guan)理系統(tong)(tong),可(ke)使用(yong)回收(shou)的冷卻空氣(qi)吹掃MPI ShielDEnvironment,可(ke)大幅減少30%至50%的空氣(qi)消耗(hao)
4、側視影(ying)像(xiang)系統(VCE)
借(jie)助MPI8寸探針臺獨特(te)的(de)自動側視– VCE影像系(xi)統可視化(hua)的(de)觀察探針針尖與樣品之間的(de)接(jie)觸,使用(yong)DC或RF等探針卡非常安全(quan)
產品優勢:
1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至(zhi) 110 GHz 及以上
3、失效分析(xi) - 探(tan)針卡 / 節間(jian)探(tan)測
4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間(jian)測試
5、高(gao)功率測試 - 至高(gao) 10 kV / 600 A
6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huan)境(jing),專(zhuan)為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所(suo)設計的(de)精密量測環(huan)境(jing)
7、支持(chi)飛(fei)安(an)級(ji)低(di)漏(lou)電值量測
8、支持溫(wen)度范圍 -60 °C 至 300 °C
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